Les vannes 3 positions HVA sont conçues pour être utilisées dans la gravure, la CVD et tout autre processus nécessitant un contrôle de la pression. Lorsqu’elle est utilisée avec des régulateurs de débit massique en amont, cette série contribuera à une capacité de contrôle de pression exceptionnelle. Ces vannes peuvent également être utilisées pour lisser la transition du vide grossier vers le vide poussé. Les vannes utilisent deux solénoïdes pneumatiques et un régulateur de pression d’air pour atteindre les trois positions: complètement ouverte, complètement fermée et une troisième position réglable. Un solénoïde contrôle les positions complètement ouverte et complètement fermée tandis qu’un second solénoïde contrôle la troisième position.
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