Les vannes tiroir Million Cycle de la série 21200 de chez HVA sont conçues pour les applications de vide poussé, en particulier pour des plages de pression d’environ 1 x 10-9 mbar et des températures d’étuvage ne dépassent pas 150°C. Il n’y a pas de verrouillage mécanique à l’intérieur du vide, ce qui est extrêmement bénéfique pour les semi-conducteurs et les processus sensibles nécessitant un fonctionnement sans vibrations. Tous les joints mobiles ont des arbres durcis, ce qui réduit la génération de particules et permet un actionnement plus doux. Ces vannes sont idéales pour les cryopompes, les turbopompes, les pompes ioniques et d’autres applications nécessitant des vannes propres, à cycle élevé et à faible dégazage.
Pour plus d’informations: cliquer ici.
Copyright © 2020 ALTEC Equipment – Réalisé par Ajoo
