Robot de transfert

Les systèmes radiaux nécessitent le transfert précis d’échantillons entre plusieurs chambres pour la préparation et l’analyse. Ceci est géré à partir d’une chambre de distribution radiale centrale. Le bras de transfert télescopique radial (RTTA) représente une avancée décisive dans la technologie de distribution radiale offrant des performances inégalées par rapport aux conceptions conventionnelles à un coût comparable. Le RTTA utilise une MagiDrive magnétique à couple élevé pour fournir un couplage extrêmement rigide pour le mouvement radial.

Ce mouvement radial est utilisé pour aligner le bras de transfert avec le piquage de chambre souhaité, obtenant une reproductibilité angulaire <0,2mm. Une deuxième MagiDrive est utilisée pour entraîner le mécanisme télescopique innovant qui fournit une extension de bras de 760mm (2,5x celle des conceptions conventionnelles) pour transporter l’échantillon dans et hors de la chambre satellite souhaitée. Le mécanisme coulissant de précision atteint une reproductibilité linéaire <0,2mm avec une déflexion <1mm en pleine extension avec une charge de 10N. Le RTTA est disponible en versions 2 axes et 3 axes.

Le RTTA à 2 axes assure la rotation pour l’alignement des piquages et l’extension du bras pour le transfert des échantillons. Le RTTA à 3 axes comprend également la possibilité de soulever et d’abaisser le bras d’échantillonnage pour un transfert basé sur la gravité généralement utilisé sur nos manipulateurs d’échantillons MBE, de pulvérisation et CVD.

Principales caractéristiques

• 2,5 fois la portée des systèmes conventionnels
• Déflection généralement <1,5mm en extension complète avec une charge de 10N
• Excellente reproductibilité de la position du substrat: <0,2mm latéralement et axialement
• Variantes 2 axes et 3 axes
• Véritable performance UHV

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