Les vannes HPV (Harsh Process Valves) de la série 71000 de chez HVA sont conçues pour les environnements de vide les plus difficiles. Dans des applications contraignantes typiques telles que MOCVD, ALD, PECVD, les vannes sont soumises à des produits chimiques agressifs et à des températures élevées. Les sous-produits peuvent affecter le fonctionnement des engrenanges/roulements, des liaisons et peuvent provoquer le grippage de la vanne. Les vannes HPV résolvent ce problème en étant sans pièces mobiles et avec un soufflet qui reste isolé du processus. Les vannes présentent une conception robuste à double confinement pour une sécurité accrue, des soufflets scellés isolés du processus pour moins d’entretien, un nettoyage in situ facile et le remplacement des joints toriques pour réduire les temps d’arrêt et une fonction de pompe souple intégrée en option pour les particules plus faibles.
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