Translations linéaires

INTRODUCTION

Les LSM (translations linéaires) permettent un mouvement linéaire le long de l’axe du piquage (Z). Les applications typiques incluent le positionnement de filtres de faisceau, le réglage de sources de pulvérisation et de porte-substrats jusqu’à des applications de type production. Etuvable à 250°C, la gamme est proposée sur des brides CF et offre une véritable performance ultravide.

Les LSM à soufflets à coupelles soudées offrent un mouvement fluide et précis via un mécanisme actionné par une vis mère externe conçu de manière cinématique, complété avec des systèmes d’anti-rotation et d’anti-déformation. Cette conception assure un mouvement fluide et précis sur l’axe Z. La gamme des LSM a une capacité de charge élevée assurée par sa construction rigide.
Les soufflets sont fabriqués en acier inoxydable 316L en standard et offrent une durée de vie minimale de 10 000 cycles. Des unités sur mesure sont disponibles offrant une durée de vie pouvant aller jusqu’à 1 million de cycles.

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