EpiCentre 282

INTRODUCTION

L’EpiCentre 282 est un manipulateur chauffant avec rotation destiné principalement au retrofit pour des systèmes d’épitaxie par jets moléculaires tels que le V80H. Cet équipement est différent de l’EpiCentre 100 et 346 en ce qu’elle soutient le substrat à angle droit par rapport à l’axe Z du manipulateur. Deux axes de rotation fournissent la rotation azimutale continue de l’échantillon et une rotation principale limitée pour l’orientation du substrat.

Une prise de conscience de la conception des manipulateurs à angle droit existants nous a conduits à repenser complètement le concept de ce manipulateur. En empilant deux de nos traversées rotatives existantes, UHV Design est en mesure d’atteindre un système à double axe, de rotations concentriques, ce qui élimine le train d’engrenage de positionnement de la tête généralement utilisés par d’autres fabricants. En intégrant notre technologie d’éléments chauffants dans cet équipement, UHV Design est en mesure d’améliorer à la fois la température maximum, l’homogénéité et la fiabilité.

Philosophie de conception du système

L’entrainement azimutal est assuré par un train d’engrenages coniques, actionné par la MagiDrive MD16. Une attention particulière a été portée à la conception de cette section de l’instrument, comme cela a été traditionnellement la source d’une défaillance prématurée. Le train d’engrenage est pris en charge dans un boîtier de précision qui assure la distance de pas d’engrenage ne soit pas réduit du fait d’une augmentation de la température. Le mécanisme d’entraînement du porte-substrat est éloigné de la zone chaude et utilise de gros roulements à billes disposés de manière à supporter les contraintes thermiques. Il en résulte un faible mouvement radial du porte-échantillon pendant la rotation, ce qui est important pour les mesures RHEED.

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