Epi-PRO

INTRODUCTION

UHV Design est heureux de vous présenter sa gamme d’EpiPRO, Manipulateur Porte-Substrat EpiCentre, configuré pour des wafers de 2", 4", 6" et 8". Il s’agit d’une nouvelle configuration de la gamme d’EpiCentre UHV Design, qui bénéficie de la rotation brevetée et de la technologie de chauffage EpiCentre, tout en offrant de nombreuses fonctionnalités supplémentaires telles que:

  • La traversée rotative brevetée MagiGear comprend un nouveau système de positionnement (homing) magnétique pour permettre l’orientation du porte-substrat pour faciliter les transferts automatisés
  • Une nouvelle capacité d’abaissement du substrat à couplage magnétique, avec actionneur pneumatique, pour permettre le transfert du substrat. Cette conception élimine le besoin en soufflets fragiles et couteux, tout en offrant un design plus compact.
  • Polarisation DC et RF disponible en option standard.

Dans l’ensemble ce nouveau manipulateur EpiCentre a été conçu de telle façon que, quelle que soit la taille du substrat, il reste identique côté atmosphère. La bride de montage, le porte-substrat et l’élément chauffant sont, par conséquent, les seuls éléments qui diffèrent lorsque l’EpiCentre est configuré pour des substrats allant de 50mm à 200mm de diamètre.

Le prix de ce manipulateur est disponible en ligne ainsi que diverses photographies sont disponibles en plus des données techniques et graphiques présentant les caractéristiques de chauffage.
Pour configurer votre manipulateur, UHV Design a veillé à une conception modulaire, permettant aux manipulateurs d’être configurés en utilisant des éléments de base comme indiqué.

Pour plus d’info, cliquez ici.

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