Eléments chauffants

INTRODUCTION

* Grande uniformité de chauffage à 1 000°C (1 200°C pour certaines applications)
* Zone chaude en métal réfractaire
* Éléments recouverts de graphite PgG ou PBN à haute performance
* Option Quartz guard pour protection de l’élément

UHV Design a développé une gamme d’éléments chauffants spécifiquement pour les clients qui souhaitent intégrer une capacité de chauffage dans leur propre station de chauffage. Notre gamme d’éléments chauffants offre une solution rentable pour les besoins d’éléments chauffants tout en utilisant une technologie de four éprouvée.

Les éléments chauffants UHV Design sont utilisés dans des applications sous vide pour le chauffage rayonnant de wafers de semi-conducteurs, de porte-substrats ou divers autres substrats à des températures élevées. Les éléments chauffants conçus pour fonctionner en CVD sont placés à l’intérieur d’un montage en métal réfractaire. Ces modules sont donc particulièrement appropriés pour les applications ultravide.

THERMOCOUPLES

Les éléments chauffants sont disponibles avec des thermocouples type C ou K, et peuvent être fournis avec l’option Quart guard destinée à protéger l’élément chauffant de dommages mécaniques, comme un contact accidentel avec la canne de transfert. Les thermocouples type C (Tungstène/Rhénium) sont fournis en standard. Pour les applications où l’utilisation de tungstène ou de rhénium ne serait pas souhaitable un thermocouple type K (Chromel/Alumel) peut être fourni.

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